晶圆级全自动量测解决方案
可凭证使用需求无邪的集成多种软硬件,丈量涵盖电流电压(IV)、电容电压(CV)、脉冲式IV、高速时域信号收罗、低频噪声测试以及多种可靠性测试。
通过亚美AM8AG自主研发的低泄电矩阵开关和丈量控制软件,可支持多种业界主流型号的探针台,实现半自动或全自动的晶圆级测试,适用于多种自动化量测场景。
普遍应用于晶圆级电学参数测试,丈量控制软件内建大量电性参数测试设置,可快速实现Vt、Gm、Idlin、Idsat、Ioff、Swing、Cgg等参数的全晶圆器件测试。
适用于器件模子数据测试需求,一套系统即可完成包罗IV、CV和1/f噪声等特征的测试,为建设SPICE模子提供周全数据支持和高效高质量的数据产出。
在晶圆级可靠性测试方面,丈量软件内置切合JEDEC尺度的HCI、BTI、TDDB、Ramp测试算法,并支持多点位测试,保证全晶圆器件可靠性的准确评估。
支持TFT电学特征测试和应力测试,包罗TFT转移特征、输出特征、接触电阻、CV特征以及BTS和电流应力测试。
知足直流IV测试、
脉冲式IV测试、瞬态时域测试、
高速波形发生与丈量、电容测试、
低频噪声和可靠性测试等多种需求
保持精度的同时大幅提升测试速率
支持多通道并行测试
极大提升了测试效率
轻松应对高密度测试
接纳模块化硬件架构
在保持紧凑机身的同时
可遵照需求扩展
知足实验室重大多变的测试需求
丈量控制软件LabExpress
直观的图形化界面
用户友好
扩展性强
内置测试算法库
完成强盛测试剖析功效
允许用户编写剧本
实现自界说测试流程
软件能轻松控制多种探针台
和矩阵开关装备
利便完成晶圆级数据的
自动测试使命
晶圆级
电学参数测试
晶圆级
可靠性测试
器件模子
数据测试
TFT电学特征
& 应力测试