半导体参数测试系统
接纳自主研发的测试硬件架构和数据总线,支持包罗高精度SMU在内的多种自研测试?,功效周全,设置无邪,扩展性强。
在一个FS800系统中险些可完成所有半导体器件的电性表征,支持电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、恣意线性波形发生与丈量、低频噪声测试、高速波形发生与釆集测试等能力。
接纳无邪的?榛低辰峁,在统一机箱内可同时安装高精度SMU和低泄电矩阵开关?,在单台台式装备内即可实现晶圆级器件电性参数的自动化测试。
直观的18.5英寸触摸屏界面。
内置电性参数测试软件LabExpress提供富厚的测试预设和强盛的数据处置赏罚功效,支持剧本化编程平台,可以无邪实现自界说算法和快速扩展。
普遍应用于种种半导体器件、LED质料、二维质料器件、金属质料、新型先进质料与器件测试、器件可靠性等研究领域
量程宽精度高
支持高速采样时域信号收罗、
恣意线性波形天生
单机可支持高精度
IV、CV、脉冲IV、高速波形
和瞬态IV采样等测试应用
可支持高达24个SMU
或132端口矩阵开关
支持同时安装高精度源表
和低泄电矩阵开关模块
单台装备内可完成
晶圆级电性参数的自动化测试
支持并行测试
内置labExpress测试软件
提供富厚的内置测试算法库、
数据剖析工具和无邪的自界说能力
工艺制程研发与
器件参数测试
半导体器件
可靠性测试
半导体器件
超短脉冲测试
非易失性
存储器测试
光电器件和
微电子机械系统测试
二维质料
器件测试
金属质料
测试
新型先进质料
与器件测试